电浆处理装置

摘要

兹提供一种电浆处理装置，其藉由在一介电质及狭缝之间定义一位置关系而具有高度改进之电浆点燃性质及点燃稳定性之特征。一电浆处理装置11包含一具有顶部开口之处理室12；一介电质15，在其底部表面上具有倾斜表面16a及16b，使得厚度尺寸连续地变化，并将该介电质配置成关闭该处理室12之该顶部开口；及一天线24，配置在该介电质15之一顶部表面上，用以供应微波至该介电质15，因而在该介电质15之该底部表面产生电浆。此外，该天线24设有复数个设置在该倾斜表面16a及16b之铅直上方之狭缝25。