含稀土元素之玻璃材料及基板及含该基板之装置

摘要

一种含有稀土族金属玻璃材料，其组成份以莫耳百分比表示包含：SiO266-75%、Al2O311-17%、B2O30-4%、MgO 1-6.5%、CaO 2-7%、SrO 0-4%、BaO 0-4%、Y2O30-4%、La2O30-4%、Y2O3+La2O30.1-4%。在组成份中Y2O3及/或La2O3将减小玻璃之T2.3，因而允许制造出较高退火点之玻璃。玻璃特别有用于作为低温多晶矽为主之半导体装置。