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发明名称
半导体装置及半导体装置之制造方法
摘要
本发明系于半导体基板(1)之表面形成研磨粒痕(62),且掺杂物扩散区域(3、5)具有向与研磨粒痕(62)之延长方向所成之角度在-5°~+5°之范围内所包含的方向延长之部份之半导体装置及该半导体装置之制造方法。
申请公布号
TWI415285
申请公布日期
2013.11.11
申请号
TW100117469
申请日期
2011.05.18
申请人
夏普股份有限公司 日本
发明人
藤田健治;船越康志;冈宏幸;冈本谕
分类号
H01L31/18;H01L31/042
主分类号
H01L31/18
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼;林宗宏 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
日本
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