基板处理设备

摘要

基板处理设备藉由均匀加热基板而在复数个基板上形成薄膜以及热处理基板。基板处理设备包括：处理腔室；晶舟，当中堆叠了基板；外部加热器，其位在处理腔室外；进给器，其移动晶舟进出处理腔室；下方加热器，其位在进给器底下；以及加热器，其位在晶舟的。