| 摘要 |
一扫描曝光设备具有多个投射光学系统，每一投射光学系统具有多个被组构来形成一光轴平移向量之镜子。该光轴平移向量在一与扫描方向正交的方向上之分量被设定，以致该原件(original)上之多个区域中的邻接区域当由与该扫描方向正交之方向观看时可彼此毗连，且该基板上之多个区域中的邻接区域当由与该扫描方向正交之方向观看时可彼此毗连。该光轴平移向量在该扫描方向上的分量的尺寸被设定，以致每一投射光学系统的成像倍率与该原件上的两个在该扫描方向上对应于该等多个投射光学系统中两个投射光学系统的区域的中心间之距离的乘积，可等于该基板上的两个在该扫描方向上对应于该二投射光学系统的区域的中心间之距离。 |
