| 摘要 |
一种薄膜电晶体，包括一基板；一缓冲层，位在该基板上；一半导体层，位在该缓冲层上并包括一通道部、以及第一掺杂部和第二掺杂部，分别位于该通道部两侧，其中该等第一掺杂部和第二掺杂部包括具有一第一宽度的开口；一闸极绝缘层，位在该半导体层上；一闸极电极，位在该通道部上面的该闸极绝缘层上；一钝化层，位在闸极电极上并包括源极孔和汲极孔，具有该闸极绝缘层，其中该等源极孔和汲极孔分别曝露出该等第一掺杂部和第二掺杂部，并具有较第一宽度为宽的一第二宽度；以及源极电极和汲极电极，位在该钝化层上，该源极电极透过该源极孔连接至该第一掺杂部，以及该汲极电极透过该汲极孔连接至该第二掺杂部连接。 |
