| 摘要 |
本发明之目的在于一面维持计测范围一面简便地扩大可计测之高度。本发明之三维形状计测系统对投影于计测对象且亮度根据位置而周期性变化之光图案进行分析，藉此对计测对象之三维形状进行计测，上述三维形状计测系统系于具有计测对象之高度之基准面之安装台上安装有计测对象，计测头向计测对象及基准面投影光图案进行拍摄，位移部使计测头沿高度方向位移。相位计算部75计算经拍摄之图像之某个像素之光图案之相位，高度计算部77根据经计算之相位，计算计测对象之高度，传送量计算部78根据经计算之高度而计算应使位移部位移之位移量。高度计算部77根据相位计算部75所计算之相位而计算高度，并根据位移量对经计算之高度进行修正，藉此计算计测对象之高度。 |
