| 摘要 |
一种双光栅讯号量测系统，为光源提供一光束射入穿透光栅后会产生零阶与正负一阶的绕射光，穿透后的零阶绕射光入射到反射光栅后，既会产生一样的零阶与正负一阶的反射光，并于穿透光栅产生绕射光，同理穿透后的正负一阶绕射光也会反射产生一道垂直入射至穿透光栅的反射光，并产生零阶与正负一阶的绕射光，经由反射光栅反射并穿透过穿透光栅后的二道正一阶绕射光与二道负一阶绕射光，分别两两重叠并经由左右二边的分光元件后，再一次的将重叠的光源一分为二，其穿透的重叠光源将入射至位置感测器上，以检测出物体的三个角度与一个垂直运动方向的位移量，而左右两组分光镜所产生的另一道反射的重叠光将经过偏振分光镜并入射至位置感测器上，藉由分析移动讯号的变化既可判别其模具与工件之间的位移变化量。 |
