照明光学系统，使用该系统的曝光设备和装置制造方法

摘要

一照明光学系统包括一对苍蝇眼镜片，其被组构成接收来自一光源之光线；一第一聚光器，其被组构成凝聚来自该对苍蝇眼镜片之光线；一反射型积累器，其被组构成接收来自该第一聚光器之光线，该反射型积累器包括复数具有平行母线方向之圆柱形反射表面；一孔径光阑，其配置垂直于该母线方向；及一第二聚光器，其被组构成将来自该反射型积累器之复数圆柱形反射表面的光通量叠加在一被照明之表面上。