自动化产能（Ｔｈrｏｕｇｈｐｕｔ）控制系统及操作该系统之方法

摘要

本发明提供一种自动化产能控制系统及方法。藉由在实体层级(entity level)上收集复数个制程工具的特定工具资讯，而可在适度短的时间间隔中在高统计显着性的情形下计算适当的与产能相关之绩效特性(performance characteristic)。此外，可将自工具资讯得到的该等绩效特性与诸如由动态模拟计算提供的参考资料比较，以便根据标准制程管制机制而识别高绩效以及低绩效的设备。