基板搬送装置及方法、与具有该装置之基板制造设备

摘要

一种使用于基板制造设备之基板搬送装置。该基板搬送装置包含：一组轴；以及驱动部，用以使前述一组轴旋转。前述一组轴包含：至少一第一轴，其具有第一长度；第二轴，其与前述第一轴位于同一平面上，并具有较前述第一长度短的第二长度；以及第三轴，其与前述第一轴位于同一平面上，具有较前述第一长度短的第三长度。前述第二轴位在相较于前述第一轴之另一端更接近一端处，前述第三轴位在相较于前述第一轴之一端更接近另一端处。