应用于雷射加工之深度即时监控系统及其方法

摘要

一种应用于雷射加工之深度即时监控系统及其方法，其系提供共路径或非共路径之加工光束与检测光束，检测光束之行进路径系大于加工光束，一锁相放大器与一光侦测器系可确定检测光束与加工光束于空间与时间上重叠，以进行一即时量测，并透过量测讯号的变化，而即时地监测出雷射加工的实际深度。