发明名称 真空内溶接处理装置
摘要 [课题]提供一种能够相较于先前技术而将真空处理室更加小型化的真空内溶接处理装置。;[解决手段]真空内溶接处理装置1,系具备有:真空处理室100;和载体400,系被配设在此真空处理室内,并载置工件而可在X方向上移动;和载体驱动装置,系被配设在真空处理室100外;和溶接头300,系被配设在真空处理室内,并可在Y方向上移动;和溶接头驱动装置540,系被配设在真空处理室400外;和Z方向可动构件,系被配设于溶接头300处,并可在Z方向上作相对移动;和溶接辊,系被保持于Z方向可动构件上,并将工件作溶接;和第1辊驱动轴600,系与Y方向平行地而被配设在真空处理室100内;和第1辊驱动轴驱动装置620,系被配设在真空处理室100外;和第1变换装置360,系被配设于溶接头300上,并将第1辊驱动轴600之动力变换为Z方向可动构件之Z方向移动动力。
申请公布号 TWI414392 申请公布日期 2013.11.11
申请号 TW097146457 申请日期 2008.11.28
申请人 亚金股份有限公司 日本 发明人 百濑一久
分类号 B23K37/047;H01L21/68 主分类号 B23K37/047
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本