发明名称 |
FLUOROALCOHOL CONTAINING MOLECULAR PHOTORESIST MATERIALS AND PROCESSES OF USE |
摘要 |
개시되는 칼릭스아렌(calixarenes)과 같은 페놀릭 분자 유리들은 적어도 하나의 플루오로알코올 함유 유닛(fluoroalcohol containing unit)을 포함한다. 이 플루오로알코올 함유 분자 유리들은 포토레지스트 조성물들에 사용될 수 있다. 또한 포토레지스트 조성물을 사용하여 기판 상에 레지스트 이미지를 생성하기 위한 프로세스들도 개시된다. |
申请公布号 |
KR20130122634(A) |
申请公布日期 |
2013.11.07 |
申请号 |
KR20137012373 |
申请日期 |
2011.11.21 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
DE SILVA EKMINI ANUJA;SUNDBERG LINDA KARIN;SOORIYAKUMARAN RATNAM;BREYTA GREGORY;BOZANO LUISA DOMINICA;HINSBERG WILLIAM |
分类号 |
C07C39/367;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039 |
主分类号 |
C07C39/367 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|