Vorrichtung zum Entsorgen von Schadgasen durch Verbrennen

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Entsorgen von beispielsweise bei der Herstellung von Halbleitermaterialien entstehenden, insbesondere ammoniakhaltigen Schadgasen durch Verbrennen, mit einem beheizbaren Pyrolyserohr (2), durch das die Schadgase zum thermischen Spalten in ein Reaktionsgas hindurch strömen, mit einer dem Auslass (3) des Pyrolyserohrs (2) nachgeschalteten Zündeinrichtung (4) und einer Luftzufuhreinrichtung (5) zum Verbrennen des Reaktionsgases in einer Reaktionszone (6). Gemäß der Erfindung ist es vorgesehen, dass bezogen auf die Strömungsrichtung (a) des Schadgases im Pyrolyserohr (2) stromab des Auslasses (3) des Pyrolyserohrs (2) eine Umlenkeinrichtung (7) zum Umlenken und Verwirbeln des Reaktionsgases mit der zugeführten Luft angeordnet ist.