Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung ob eine Veränderung eines Substrats unter einer das Substrat bedeckenden Schicht vorliegt

摘要

Verfahren zur Bestimmung ob eine Veränderung eines Substrats (2) in einem Testbereich unter einer das Substrat (2) bedeckenden Schicht (1) vorliegt, wobei: a) in dem Testbereich, an einer Stelle des Substrats (2) auf oder beabstandet von der bedeckenden Schicht (1) mit mindestens zwei unterschiedlichen Messverfahren eine kombinierte magnetische und/oder elektrische Messung vorgenommen wird; und b) untersucht wird, ob eine Relation zwischen mit den unterschiedlichen Messverfahren in dem Testbereich ermittelten Messwerten (18, 19) mit einer in einem Referenzbereich festgestellten Referenzrelation übereinstimmt, wobei – die in dem Referenzbereich festgestellte Referenzrelation zwischen mit unterschiedlichen Messverfahren ermittelten Messwerten (18, 19) besteht, und – im Fall einer Abweichung der Relation von der Referenzrelation festgestellt wird, dass das Substrat (2) verändert wurde.