发明名称 一种石英坩埚的检测装置
摘要 本实用新型涉及一种石英坩埚的检测装置,该装置包括光源、支撑台板、轴承、中心轴和底座,中心轴的一端垂直竖立在底座上,中心轴的另一端连接有支撑台板,支撑台板通过轴承可围绕中心轴旋转,在支撑台板的中心处设置有光源。采用本实用新型,可以将石英坩埚放置在支撑台板,光源通电打开后就可以边旋转支撑台板边检测石英坩埚是否有气泡或者裂纹,既方便又快捷。
申请公布号 CN203275317U 申请公布日期 2013.11.06
申请号 CN201320275003.7 申请日期 2013.05.20
申请人 浙江矽盛电子有限公司 发明人 余小金;郜勇军
分类号 G01N21/89(2006.01)I 主分类号 G01N21/89(2006.01)I
代理机构 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 代理人 陈继亮
主权项 一种石英坩埚的检测装置,包括光源、支撑台板、轴承、中心轴和底座,其特征在于中心轴的一端垂直竖立在底座上,中心轴的另一端连接有支撑台板,支撑台板通过轴承可围绕中心轴旋转,在支撑台板的中心处设置有光源。
地址 324300 浙江省衢州市开化县工业园区银辉路8号矽盛电子