全固态振动式微陀螺的封装结构

摘要

一种微机电系统技术领域的全固态振动式微陀螺的封装结构，包括：上盖部分、桶状密封环部分、弹性密封圈、底座部分、微陀螺振子和电信号连接线，上盖部分设置于桶状密封环部分上并与桶状密封环部分固定连接，弹性密封圈位于上盖部分和桶状密封环部分之间，桶状密封环部分设置于底座部分上并与底座部分固定连接，上盖部分、桶状密封环部分和底座部分构成密封腔室，微陀螺振子放置在密封腔室的位置，电信号连接线的两端分别与微陀螺振子和底座部分相连。本发明利用四个侧面的螺钉及上下表面上的定位凸点进行定位及限定振子的六个自由度，螺钉及凸点和振子的接触点为振子的振动节点，不仅可对振子进行定位，还可对振子进行有效夹持。

主权项

一种全固态振动式微陀螺的封装结构，其特征在于，包括：上盖部分、桶状密封环部分、弹性密封圈、底座部分、微陀螺振子和电信号连接线，其中：上盖部分设置于桶状密封环部分上并与桶状密封环部分固定连接，弹性密封圈位于上盖部分和桶状密封环部分之间，桶状密封环部分设置于底座部分上并与底座部分固定连接，由上盖部分、桶状密封环部分和底座部分构成的密封腔室；微陀螺振子放置在密封腔室的中央位置，电信号连接线的两端分别与微陀螺振子和底座部分相连，该密封腔室为微陀螺振子进行了物理和电磁干扰隔离，使得微陀螺振子免受外界的干扰而稳定地工作；所述的上盖部分包括：上盖、上定位板和上定位凸点，其中：上定位板通过螺钉设置于上盖上并与上盖固定连接，上定位凸点固定设置于上定位板的下表面；所述的桶状密封环部分包括：桶状密封环和侧壁定位螺钉，其中：侧壁定位螺钉连接在桶状密封环的侧壁上；利用上下定位凸点、以及侧壁定位螺钉，形成微陀螺振子的6个自由度全限定，上下定位凸点、以及侧壁定位螺钉和微陀螺振子的接触点为微陀螺振子的振动节点，从而对微陀螺振子的工作模态振动无影响；底板采用印刷电路板制作而成，便于外界的驱动信号的引入以及微陀螺振子的感应信号输出；在所述上盖和桶状密封环之间引入弹性密封圈，便于调节所述上盖的高度，进而调节作用在微陀螺振子上下表面上的夹持压力；所述的底座部分包括：底座、下定位板和下定位凸点，其中：下定位板通过螺钉设置于底座上并与底座固定连接，下定位凸点固定设置于下定位板的上表面。