LED及晶圆检查装置、以及利用上述装置的检查方法

摘要

本发明提供可在一个装置连续实施LED及晶圆表面检查及内部检查的LED及晶圆检查装置及晶圆检查方法。该装置包括：装载部，在其一侧设置推送装置，以使装载多个LED及晶圆的晶圆匣通过升降装置升降，并使上述LED及晶圆沿水平方向一张张引出；旋转型LED及晶圆移送部，包括装载上述LED及晶圆以将其移送至后续工序的旋转台；表面检查部，包括用于上述LED及晶圆表面检查的第一视觉模块及第一不良品收纳部；内部检查部，包括用于上述LED及晶圆内部检查的第二视觉模块及第二不良品收纳部；卸载部，包括通过升降装置升降以依次装载上述LED及晶圆的晶圆匣；及控制部，根据顺序控制程序控制上述LED及晶圆的检查过程。本发明通过上述装置提高了作业效率及空间利用率。

主权项

一种LED及晶圆检查装置，包括：装载部，在其一侧设置推送装置，以使装载多个LED及晶圆的晶圆匣通过升降装置升降，并使上述LED及晶圆沿水平方向一张张引出；旋转型LED及晶圆移送部，包括装载上述LED及晶圆以将其移送至后续工序的旋转台；表面检查部，包括用于上述LED及晶圆的表面检查的第一视觉模块及第一不良品收纳部；内部检查部，包括用于上述LED及晶圆的内部检查的第二视觉模块及第二不良品收纳部；卸载部，包括通过升降装置升降以依次装载上述LED及晶圆的晶圆匣；及控制部，根据顺序控制程序控制上述LED及晶圆的检查过程，其中，上述装载部、上述表面检查部、上述内部检查部和上述卸载部位于所述旋转型LED及晶圆移送部的周围，上述LED及晶圆的移送是通过上述旋转台的旋转执行的，且上述旋转型LED及晶圆移送部轮流地使用上述装载部、上述表面检查部、上述内部检查部和上述卸载部中每一者送出和接收上述LED及晶圆。