一种气压浮动防碰撞的悬浮基盘抛光装置

摘要

一种气压浮动防碰撞的悬浮基盘抛光装置，包括机座、悬浮基盘和研磨盘，所述悬浮基盘与加压组件连接，所述悬浮基盘位于研磨盘上，所述研磨盘通过主驱动器绕固定中心轴线转动，所述悬浮基盘与研磨盘相对面沿圆周方向设有楔形槽和用以放置待加工工件的加工工位，所述楔形槽中充满抛光液，所述楔形槽和加工工位间隔设置，所述研磨盘为U形研磨盘，所述悬浮基盘套装在U形研磨盘内且与U形研磨盘内壁有间隙，所述悬浮基盘中心有进气腔，所述悬浮基盘沿圆周方向均布径向节流孔且与进气腔相通，所述节流塞套装在节流孔内，供气管道通过储气盖与悬浮基盘连接且和进气腔相通。本实用新型采用气浮消除摩擦和碰撞、研磨平稳、表面损伤小、质量高。

主权项

一种气压浮动防碰撞的悬浮基盘抛光装置，包括机座、悬浮基盘和研磨盘，所述悬浮基盘与加压组件连接，所述悬浮基盘位于研磨盘上，所述研磨盘通过主驱动器绕固定中心轴线转动，所述悬浮基盘与研磨盘相对面沿圆周方向设有楔形槽和用以放置待加工工件的加工工位，所述楔形槽中充满抛光液，所述楔形槽和加工工位间隔设置，其特征在于：所述研磨盘为U形研磨盘，所述悬浮基盘套装在U形研磨盘内且与U形研磨盘内壁有间隙，所述悬浮基盘中心有进气腔，所述悬浮基盘沿圆周方向均布径向节流孔且与进气腔相通，所述节流塞套装在节流孔内，供气管道通过储气盖与悬浮基盘连接且和进气腔相通。