测量自动生产线中透明物体厚度的方法和设备

摘要

测量透明物体（30）的壁（35）厚度。装置（100）包括光源（1）和用于聚焦光源的装置（10）。辐射被引导朝向壁（35），并且由第一辐射（6）和第二辐射（9）构成的收集辐射（15）具有不同的强度，不同的强度被配置为获得干涉，这允许确定壁（35）的厚度。用于聚焦的装置包括透镜装置（10），其具有两个彼此正交的主子午线（10a、10b），使得入射光辐射（5）被聚焦在第一子午线平面（10a）中的第一虚焦点（F1），并且聚焦在第二子午线平面（10b）中的第二虚焦点（F2）。这允许测量相对于物体（30）的波动和振动具有显著的可靠性和鲁棒性。

主权项

一种用于测量透明物体（30），特别是弯曲物体，的壁（35）的厚度的方法，所述壁（35）包括：透明材料（35a）；布置在外部环境（（33）和所述透明材料（35a）之间的近端界面（31）；以及与所述近端界面（31）相对的、布置在所述透明材料（35a）和所述环境（33）之间的远端界面（32），所述方法提供以下步骤：——预先布置起始光辐射（2）；——聚焦（10、11、22、23）所述起始光辐射（2），从而获得指向所述壁（35）的入射光辐射（5），使得所述入射光辐射（5）：——撞击所述壁（35）的所述近端界面（31），——部分由所述近端界面（31）反射，以便产生第一反射辐射（6），——部分穿过所述透明材料（35a），撞击在所述远端界面（32）上，并且部分从所述远端界面（32）反射（8），——在所述远端界面（32）反射后，部分在相反方向上穿过所述透明材料（35a），再次撞击所述近端界面（31）上并且穿过它，以便产生第二反射辐射（9）；——收集（40）由所述第一反射辐射（6）和第二反射辐射（9）叠加的整个出射光辐射（15）；——用光谱法分析（50）所述出射光辐射（15），以便根据在所述出射光辐射（15）中的所述第一反射光辐射（6）和第二反射光辐射（9）之间的干涉特性确定所述壁（35）的厚度，其特征在于，所述聚焦（10）的步骤通过具有两个主子午线平面（10a、10b）的非轴对称透镜装置（10、11、22、33）获得所述入射光辐射（5），使得所述入射光辐射（5）聚焦在第一主子午线平面（10a）中的第一虚焦点（F1）上，以及聚焦在第二主子午线平面（10b）中的第二虚焦点（F2）上。