| 发明名称 | 一种硅片热处理用石英装载台 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种硅片热处理用石英装载台，包括石英底座和石英盖，石英底座厚度为4~6mm，其为圆形装载区，圆形装载区面积小于石英底座面积；圆形装载区的一半圆弧上垂直设置多根石英柱，另一半圆弧上垂直设置多根石英棒；石英柱底部与石英底座之间固定连接，顶部通过石英连接杠连接于一体；石英棒底部与石英底座之间为可拆卸式连接。本实用新型质量轻巧，拿取和搬运方便，可有效固定硅片，防止其意外滑落摔碎。 | ||
| 申请公布号 | CN203277343U | 申请公布日期 | 2013.11.06 |
| 申请号 | CN201320301994.1 | 申请日期 | 2013.05.29 |
| 申请人 | 康可电子(无锡) 有限公司 | 发明人 | 张盛娟 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 无锡华源专利事务所(普通合伙) 32228 | 代理人 | 冯智文 |
| 主权项 | 一种硅片热处理用石英装载台，包括石英底座（1）和石英盖（2），其特征在于：石英底座（1）厚度为4~6mm，其中央为圆形装载区（3），圆形装载区（3）面积小于石英底座（1）面积；圆形装载区（3）的一半圆弧上垂直设置多根石英柱（4），另一半圆弧上垂直设置多根石英棒（5）；石英柱（4）底部与石英底座（1）之间固定连接，顶部通过石英连接杠（6）连接于一体；石英棒（5）底部与石英底座（1）之间为可拆卸式连接。 | ||
| 地址 | 214142 江苏省无锡市新区硕放工业园振发六路三号 | ||