发明名称 一种制备石墨烯的方法
摘要 本发明属于无机化合物技术领域,尤其涉及一种以CBr4为源材料利用分子束外延(MBE)或者化学气相沉淀(CVD)等方法直接制备石墨烯的方法。一种制备石墨烯的方法,包括如下步骤:选取适当的材料作为衬底;在衬底表面直接沉积催化剂和CBr4;对沉积所得的样品进行退火处理。相比于其他技术,本发明方法的创新点是可以定量可控地在任意基底上沉积催化剂和CBr4源,催化剂和CBr4源在基底表面发生反应而形成石墨烯。这样可以极大限度地减弱石墨烯生长对基底材料的依赖性,人们可以根据不同的应用背景选择不同的基底材料。
申请公布号 CN102627274B 申请公布日期 2013.11.06
申请号 CN201210120753.7 申请日期 2012.04.23
申请人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明人 王庶民;龚谦;谢晓明;王海龙;狄增峰;丁古巧;柳庆博
分类号 C01B31/04(2006.01)I 主分类号 C01B31/04(2006.01)I
代理机构 上海光华专利事务所 31219 代理人 许亦琳;余明伟
主权项 一种制备石墨烯的方法,包括如下步骤:(1)选取适当的材料作为衬底;(2)在衬底表面直接沉积CBr4和催化剂;所述催化剂为Ga;所述CBr4和催化剂的沉积方式为同时沉积、按任意次序先后沉积或按任意次序交替沉积一次以上,所述各沉积方式中CBr4总的沉积量为3.8E7‑3.8E9分子/μm2,催化剂总的沉积量为1.7E7‑1.7E9原子/μm;(3)对步骤2所得的样品进行退火处理。
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号