| 发明名称 | 具有增加的有效电容的柔性电容式微加工超声换能器阵列 | ||
| 摘要 | 一种电容式微加工超声换能器(CMUT)(200)，该电容器微加工超声换能器包括：操作地连接至顶部电极(210)的薄膜(220)和具有凹穴(230)的底部电极。在施加直流(DC)偏压时，所述薄膜(220)朝向所述底部电极挠曲，使得所述薄膜(220)的周边边缘区域接近所述底部电极，并且所述薄膜的所述周边边缘区域附近的静电力得到增加。 | ||
| 申请公布号 | CN102498586B | 申请公布日期 | 2013.11.06 |
| 申请号 | CN201080041013.3 | 申请日期 | 2010.09.21 |
| 申请人 | 香港理工大学 | 发明人 | 郑庆祥;钞晨 |
| 分类号 | H01L41/08(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L41/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京金思港知识产权代理有限公司 11349 | 代理人 | 邵毓琴 |
| 主权项 | 一种电容式微加工超声换能器，该电容式微加工超声换能器包括：操作地连接至顶部电极的薄膜；和具有凹穴的底部电极；其中所述薄膜被构造成在施加直流偏压时朝向所述底部电极挠曲，并且挠曲的薄膜的凹入形状与所述底部电极的凹穴基本相配,从而使得所述薄膜的周边边缘区域紧密接近所述底部电极，并且所述薄膜的所述周边边缘区域附近的静电力得到增加。 | ||
| 地址 | 中国香港九龙红磡 | ||