发明名称 一种YBCO超导复合膜的制备方法
摘要 一种YBa2Cu3O7-x(YBCO)超导复合膜的制备方法。首先把乙酸钇Y(CH3COO)3、乙酸钡Ba(CH3COO)2和乙酸铜Cu(CH3COO)2按照Y∶Ba∶Cu=1.5∶2∶3的摩尔比混合溶于三氟乙酸的水溶液中;搅拌均匀后真空蒸干溶剂得到凝胶;再加入甲醇搅拌均匀后蒸干溶剂得到凝胶;随后加入甲醇,制成Y、Ba和Cu三种金属离子总浓度为1.5-3.0mol/L的前驱液;然后将前驱液涂覆在基片上;涂覆好的薄膜先经历低温热处理过程,分解三氟乙酸盐;然后进行高温热处理获得具有四方相的YBCO薄膜;将乙酰丙酮铈的前驱液涂覆在YBCO薄膜上,进行1000℃-1100℃的高温热处理;再依次重复涂覆Y、Ba和Cu的前驱液和乙酰丙酮铈的前驱液并进行相应的热处理,制备出结构为YBCO/CeO2/YBCO/CeO2/YBCO五层厚度为1.5微米的YBCO超导膜。
申请公布号 CN102690114B 申请公布日期 2013.11.06
申请号 CN201210114803.0 申请日期 2012.04.18
申请人 中国科学院电工研究所;苏州新材料研究所有限公司 发明人 丁发柱;古宏伟;张腾;王洪艳;屈飞;戴少涛;邱清泉;蔡渊;贺昱旻
分类号 H01L39/24(2006.01)I;C04B35/45(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;H01B12/00(2006.01)I 主分类号 H01L39/24(2006.01)I
代理机构 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人 关玲
主权项 一种YBCO超导复合膜的制备方法,其特征在于,所述的制备YBCO超导厚膜方法包括如下步骤:(1)按照Y∶Ba∶Cu=1.5∶2∶3的摩尔比将Y(CH3COO)3、Ba(CH3COO)2和Cu(CH3COO)2混合,于室温下溶于含有10‑30mol%的三氟乙酸的去离子水中,配成三氟乙酸盐的溶液,所述三氟乙酸盐溶液中溶质与溶剂的摩尔比为1∶100;(2)将步骤(1)配制的三氟乙酸盐溶液经磁力搅拌器搅拌1‑3h,再采用旋转蒸发仪蒸除溶剂得到凝胶;(3)将所述步骤(2)制得的凝胶加入甲醇中,此步骤中的凝胶与甲醇的摩尔比为1∶50,经磁力搅拌器搅拌0.5‑1.5h后,再采用旋转蒸发仪蒸除溶剂,以进一步去除水分等杂质,得到纯净的凝胶;(4)将所述步骤(3)制得的凝胶加入到甲醇中,制成Y、Ba和Cu三种金属总离子浓度为1.5‑3.0mol/L的前驱液;(5)将上述步骤(4)制成的所述前驱液采用旋涂或提拉方法涂覆在基片上;(6)将经步骤(5)涂覆后的基片置于高温管式石英炉中,在300℃‑500℃温度下进行10h的低温热处理,分解三氟乙酸盐;该步骤的升温速率为40℃/h;(7)将经过步骤(6)处理的基片置于750℃‑850℃的高温下热处理2‑4h,生成四方相YBCO膜;此步骤的升温速度为400℃/h;(8)将乙酰丙酮铈于室温溶于甲醇中,配制得到金属铈离子浓度为0.1~0.5mol/L的前驱液;将该前驱液旋涂在经过步骤(7)烧结的YBCO薄膜上;(9)将经过步骤(8)处理的样品置于1000℃‑1100℃的高温下热处理1‑2h,生成CeO2膜;此步骤的升温速度为400℃/h;(10)在经过步骤(9)处理的样品上依次按照步骤(5)‑(7)和步骤(8)‑(9)交替沉积YBCO膜和CeO2膜,最后在氧气氛围中进行热处理制备出YBCO/CeO2/YBCO/CeO2/YBCO五层厚度为1.5微米的YBCO超导厚膜。
地址 100190 北京市海淀区中关村北二条6号