汽化器

摘要

本发明揭示一种汽化器单元，其将固体馈入材料、尤其包含用于半导体制造的簇分子的材料加热到产生待离子化的蒸汽的温度，其具有有效构造和许多有效的安全特征。加热器位于可卸顶部闭合部件中，且用以将所述顶部闭合部件中的阀维持在固体材料的加热温度高的温度下。顶部区为与底部区的界面的热分配器，底部的侧壁和底部壁将自界面所接收的热分配到暴露于馈入材料的空腔的表面。机械和电子编码的锁定、防止接近和有效使用提供安全性。硼烷、十硼烷(decaborane)、碳簇和其它大分子被汽化以用于离子植入。展示与新颖蒸汽传送系统以及与离子源配合的此类汽化器。

主权项

一种蒸气传送系统，其包含汽化器与流动界面装置的组合及联锁系统，所述流动界面装置界定用于可移除地接收所述汽化器且与所述汽化器连通的安装台，且所述联锁系统具有防止在所述安装台处毒性蒸汽意外流到大气中的结构，其中所述联锁系统包括用于在所述安装台处安装所述汽化器的可卸紧固件和可手动操作闭合装置，所述闭合装置具有防止蒸汽自所述汽化器流动的闭合位置，所述闭合装置与防止接近的装置相关联，所述防止接近的装置防止工作人员在所述闭合装置不处于闭合位置时接近已安装的汽化器的所述可卸紧固件，藉以防止在卸下所述汽化器时毒性蒸汽自所述汽化器流动。