| 发明名称 | 一种铌酸锂晶体抛光液及制备方法 | ||
| 摘要 | 一种铌酸锂晶体抛光液及制备方法，其特征是，包括以下成分及其重量百分含量：二氧化硅为5～50，pH值调节剂为0.5～5，醚醇类活性剂为0.02～2，氧化剂为0.5～5，分散剂为0.1～10，去离子水为余量；所述二氧化硅以硅溶胶的状态加入或者以所述二氧化硅的硅溶胶为母液配制抛光液。所述抛光液是一种操作简单，制备方便，并且化学作用强、抛光效率高、表面粗糙度低、无划伤的、可专用于铌酸锂晶体的抛光液。 | ||
| 申请公布号 | CN101857775B | 申请公布日期 | 2013.11.06 |
| 申请号 | CN201010207566.3 | 申请日期 | 2010.06.13 |
| 申请人 | 北京国瑞升科技有限公司 | 发明人 | 张永峰;王宝运 |
| 分类号 | H01L21/302(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/302(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人 | 吴小灿 |
| 主权项 | 一种铌酸锂晶体抛光液，其特征是，包括以下成分及其重量%含量：二氧化硅为5～50，pH值调节剂为0.5～5，醚醇类活性剂为0.02～2，氧化剂为0.5～5，分散剂为0.1～10，去离子水为余量；所述二氧化硅以硅溶胶的状态加入或者以所述二氧化硅的硅溶胶为母液配制抛光液；所述氧化剂为二氯异氰尿酸钠，其分子式为C3Cl2N3O3Na；所述二氯异氰尿酸钠也被称为优氯净。 | ||
| 地址 | 100085 北京市海淀区上地信息路12号中关村发展大厦C座401室 | ||