发明名称 一种硅片清洗制绒槽
摘要 本实用新型公开了一种硅片清洗制绒槽,所述硅片清洗制绒槽包括槽体和设置在槽体内壁的pp层,所述槽体内设有加热管。通过在槽体内壁设置pp层可以有效地防止硅片清洗制绒槽生锈腐蚀。
申请公布号 CN203277334U 申请公布日期 2013.11.06
申请号 CN201320194893.9 申请日期 2013.04.17
申请人 江苏爱多光伏科技有限公司 发明人 卢君;马嫣明
分类号 H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 代理人 杨新勇
主权项 一种硅片清洗制绒槽,其特征在于:所述硅片清洗制绒槽包括槽体和设置在槽体内壁的pp层,所述槽体内设有加热管。
地址 214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇周北工业集中区通港中路