一种硅片片盒及对应的固定托盘

摘要

一种硅片片盒，包括：第一固定面，所述第一固定面设置有至少两个第一固定通孔；与所述第一固定面相对的第二固定面，所述第二固定面设置有至少两个第二固定通孔，所述第二固定通孔的形状和数量与所述第一固定通孔的形状和数量相同；所述硅片片盒的所有第一固定通孔和所有第二固定通孔相对于硅片片盒的外侧具有相同的形状和位置，使所有第一固定通孔和所有第二固定通孔能够匹配同一个固定托盘。因此，在进行硅片装载时，只需要将所有硅片按照相同的方向装载到所述硅片片盒中即可，硅片的装载方向决定硅片片盒的固定面，增加了装置的灵活性，提高了工作人员的工作效率，且避免了倒片，降低了碎片率。

主权项

一种硅片片盒，其特征在于，包括：第一固定面，所述第一固定面设置有至少两个第一固定通孔；与所述第一固定面相对的第二固定面，所述第二固定面设置有至少两个第二固定通孔，所述第二固定通孔的形状和数量与所述第一固定通孔的形状和数量相同；其中，所有第一固定通孔在所述第一固定面上沿参考方向视图的形状与所有第二固定通孔在所述第二固定面上沿所述参考方向的反方向视图的形状相同；所有第一固定通孔在所述第一固定面上沿参考方向视图的在所述第一固定面上的位置与所有第二固定通孔在所述第二固定面上沿所述参考方向的反方向视图在所述第二固定面上的位置对应相同。