空位加权栅阵的声表面波谐振器

摘要

本实用新型空位加权栅阵的声表面波谐振器，包括压电基片，所述压电基片上溅射金属叉指换能器和金属栅阵，所述金属栅阵包括分别设置在所述金属叉指换能器左右两侧的反射栅，将左侧的反射栅称作第一反射栅，将右侧的反射栅称作第二反射栅，所述第一反射栅和第二反射栅组成的金属栅阵在所述金属叉指换能器左右两侧对称分布；所述第一反射栅和第二反射栅分别包括多根指条，在所述第一反射栅和第二反射栅的指条上设置空位。本实用新型空位加权栅阵的声表面波谐振器能消除高阶横波模式对谐振器频率特性的影响，提高SAW谐振器的频率响应性能。

主权项

空位加权栅阵的声表面波谐振器，包括压电基片，所述压电基片上溅射金属叉指换能器和金属栅阵，其特征在于，所述金属栅阵包括分别设置在所述金属叉指换能器左右两侧的反射栅，将左侧的反射栅称作第一反射栅，将右侧的反射栅称作第二反射栅，所述第一反射栅和第二反射栅组成的金属栅阵在所述金属叉指换能器左右两侧对称分布；所述第一反射栅和第二反射栅分别包括多根指条，在所述第一反射栅和第二反射栅的指条上设置空位。