一种自旋阀器件

摘要

开发柔性的自旋阀器件对于高灵敏度的柔性磁传感器来说具有重要的意义。本实用新型提供一种自旋阀器件，包括刚性衬底、亲水层、疏水层、反铁磁层、下铁磁层、非磁性金属层、上铁磁层，其中，刚性衬底上依次沉积亲水层、疏水层、反铁磁层、下铁磁层、非磁性金属层和上铁磁层，构成多层的层状结构。本实用新型在自旋阀的结构下面增加了亲水层和疏水层，需要传感器变成柔性的时候，只需将传感器放入水里，亲水层和疏水层即可分离，得到柔性的自旋阀器件，在高灵敏度的柔性磁传感器领域具有很好的应用前景。

主权项

一种自旋阀器件，包括刚性衬底、亲水层、疏水层、反铁磁层、下铁磁层、非磁性金属层、上铁磁层，其特征在于：所述的刚性衬底上依次沉积亲水层、疏水层、反铁磁层、下铁磁层、非磁性金属层和上铁磁层，构成多层的层状结构。