实现多晶硅铸锭无黑边的坩埚及其制备方法

摘要

本发明属于多晶硅铸锭技术领域，具体涉及一种实现多晶硅铸锭无黑边的坩埚及其制备方法，包括氮化硅坩埚，其特征在于氮化硅坩埚内壁依次喷涂有氮化硅涂层和硅粉涂层，制备时将氮化硅涂层和硅粉涂层依次用喷枪喷涂到氮化硅坩埚的内壁上。本发明的优点在于：（1）获得的多晶硅铸锭边部无少子寿命低的黑边，从而提高加工成电池片的光电转换效率，满足高效高品质太阳能组件的要求：（2）提高了坩埚的重复利用，使用次数在20次以上，坩埚所占成本能够降低15%。

主权项

一种实现多晶硅铸锭无黑边的坩埚，包括氮化硅坩埚，其特征在于氮化硅坩埚内壁依次喷涂有氮化硅涂层和硅粉涂层。