平坦化修正臂、应用其的平坦化系统及平坦化方法

摘要

本发明公开了一种平坦度修正臂、应用其的平坦化系统及平坦化方法。平坦化系统包括研磨垫、研磨头及平坦度修正臂；研磨头抵压待加工件于研磨垫上；平坦度修正臂包括摇臂、加工头、光发射器、光接收器、表面轮廓取得单元及控制单元；加工头连接于摇臂；光发射器发射光线至研磨垫；光接收器接收自研磨垫反射及折射的光线；表面轮廓取得单元依据自研磨垫反射及折射的光线，取得研磨垫的一表面轮廓。控制单元依据表面轮廓，驱动摇臂带动加工头至研磨垫上而修正研磨垫的平坦度。

主权项

一种平坦度修正臂，用以修正一平坦化系统的一研磨垫的平坦度，该平坦度修正臂包括：一摇臂；一加工头，连接于该摇臂；一光发射器，发射一光线至该研磨垫；一光接收器，接收自该研磨垫反射及折射的该光线；一表面轮廓取得单元，依据自该研磨垫反射及折射的该光线，取得该研磨垫的一表面轮廓；以及一控制单元，依据该表面轮廓，驱动该摇臂带动该加工头至该研磨垫上而修正该研磨垫的平坦度。