常压化学气相沉积机台异常监控方法及系统

摘要

一种常压化学气相沉积机台异常监控方法，包括以下步骤：对卸载传送器进行监测；获取处于异常位置的晶片位置状态信息；发出控制指令自动将所述处于异常位置的晶片拾取。同时还提供了一种常压化学气相沉积机台异常监控系统。上述常压化学气相沉积机台异常监控方法中，通过对卸载传送器进行监测，发现晶片处于异常位置后将其及时拾取，防止该晶片在继续传送过程中因位置异常而导致缺陷，同时该方法及系统可以实时监控机台传送系统的异常，而不需要对其进行定期保养，降低了成本。

主权项

一种常压化学气相沉积机台异常监控方法，其特征在于，包括以下步骤：对卸载传送器进行监测；获取处于异常位置的晶片位置状态信息；发出控制指令自动将所述处于异常位置的晶片拾取。