| 发明名称 | 平面热电堆红外线微传感器 | ||
| 摘要 | 一种红外线传感器，包含一具有导热率相对较高部分(12)及导热率相对较低部分(14)的散热基材(10)及一具有热接点(18)及冷接点(20)的平面热电偶层(16)，其中热接点(18)位于散热基材的导热率相对较低的部分(14)上。低导热介电层(22)位于热电偶层(16)上方，且具有一通孔(24)通向热接点(18)。一红外线反射层(26)覆盖低导热介电层(22)及通孔(24)的侧壁。一红外线吸收器(30；30’)位于通孔中。此结构形成一平面红外线微传感器，其使用一结构化基材及一介电层，以避免需要任何特定封装。此设计通过聚焦于热电偶而具有较高的灵敏度，且对气体传导及对流有较佳的抗扰性。 | ||
| 申请公布号 | CN102150021B | 申请公布日期 | 2013.11.06 |
| 申请号 | CN200980135346.X | 申请日期 | 2009.09.07 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 穆罕默德·包特许;班诺瓦·巴塔尤 |
| 分类号 | G01J5/12(2006.01)I | 主分类号 | G01J5/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 张浴月;刘文意 |
| 主权项 | 一种红外线传感器，包括：一散热基材(10)，具有导热率相对较高的部分(12)及导热率相对较低的部分(14)；一平面热电偶层(16)，具有一热接点(18)及一冷接点(20)，其中该热接点(18)位于该散热基材的相对较低导热率的部分(14)上；一低导热介电层(22)，位于该热电偶层(16)上，且具有一通孔(24)通向该热接点(18)；一红外线反射层(26)，覆盖该低导热介电层(22)及该通孔(24)的侧壁，于该红外线反射层(26)中的热接点的位置提供有一开口；以及一红外线吸收器(30；30’)，位于该通孔中。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||