包括具有各自的晶体取向的多个层的X射线聚焦光学器件

摘要

一种用于接收和重定向X射线的衍射X射线光学器件。该光学器件包括至少两个层，所述层具有类似的或不同的材料组成和类似的或不同的晶体取向。所述层中的每一个显示出衍射效应，且他们的整体效应在接收的X射线上提供衍射效应。在一个实施例中，所述层为硅，且采用绝缘体上硅键合技术将所述层键合到一起。在另一实施例中，可以采用粘结键合技术。该光学器件可以为曲面、单色光学器件。

主权项

一种用于接收和重定向X射线的曲面的单色衍射光学器件，包括：包括用于接收所述X射线的单个连续平面上层的至少两个叠置的平面晶体层，每个所述层根据相同的材料组成以及其不同的晶体取向具有单独的衍射效应，其中所述平面晶体层的厚度为1‑5μm。