| 发明名称 | 垫片结构及使用该垫片结构的裂片装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种垫片结构，其设置在夹持装置与被夹物体相接触的位置。所述垫片结构包括至少两层相互连接的缓冲层，所述缓冲层由弹性材料制成。至少一缓冲层内开设有镂空单元。另，本发明还提供一种使用该垫片结构的裂片装置。 | ||
| 申请公布号 | CN103382082A | 申请公布日期 | 2013.11.06 |
| 申请号 | CN201310291380.4 | 申请日期 | 2013.07.11 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 谢克成 |
| 分类号 | C03B33/02(2006.01)I | 主分类号 | C03B33/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人 | 刘敏 |
| 主权项 | 一种垫片结构(104)，其设置在夹持装置与被夹物体相接触的位置，所述垫片结构(104)包括至少两层相互连接的缓冲层(105)，所述缓冲层(105)由弹性材料制成，所述至少一缓冲层(105)内开设有镂空单元(106)。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 | ||