发明名称 存储装置及其制造方法
摘要 本发明提供一种存储装置及其制造方法,该存储装置包含:一台地状结构及一字元线。该台地状结构具两相对侧表面,且包含至少一对的源/漏极区及至少一沟道基部区,该至少一沟道基部区相对于该至少一对的源/漏极区。该字元线包含两线性段和至少一互连部。各线性段在该台地状结构上相应的该侧表面延伸,并邻近该沟道基部区。该至少一互连部穿过该台地状结构并连接该两线性段。本发明存储装置的多个字元线能适当地互相隔离以避免相互干扰。此外,字元线垂直方向设置,使得其宽度增加以降低其电阻,而不会被存储器单元的局限面积所限制。
申请公布号 CN102468268B 申请公布日期 2013.11.06
申请号 CN201110168485.1 申请日期 2011.06.22
申请人 南亚科技股份有限公司 发明人 庄英政;徐秉诚;杨胜威;张明成;蔡鸿明
分类号 H01L23/528(2006.01)I;H01L27/108(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01L21/8242(2006.01)I 主分类号 H01L23/528(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人 张龙哺;冯志云
主权项 一种存储装置,包含:一台地状结构,具有两相对侧表面,且包含至少一对源/漏极区及至少一沟道基部区,该至少一沟道基部区相对于该至少一对源/漏极区;以及一字元线,包含两线性段及至少一互连部,其中各线性段在该台地状结构上相应的该侧表面延伸,并邻近该沟道基部区,且该互连部穿过该台地状结构并连接两线性段。
地址 中国台湾桃园县