发明名称 |
光罩盒 |
摘要 |
本实用新型提供一种光罩盒,其包括一盒底以及与该盒底配合的盒盖,所述盒底的底部设有至少四个第一固定器;所述第一固定器包括支撑台阶以及自该支撑台阶向上延伸的引导部;所述引导部包括底面、自该底面一侧弯折延伸的引导面以及连接所述引导面和底面的侧面;所述至少四个第一固定器的引导面与支撑台阶围成用于收容光罩的收容腔。本实用新型的光罩盒的固定器与光罩采用面接触式,在方便光罩取放并限制光罩在光罩盒内左右移动的同时,还避免了在光罩放进及取出光罩盒时柔软的光罩薄膜面被划伤;光罩盒的盒盖及盒底均设有固定器,所述固定器的支撑台阶支撑光罩的边缘,能避免光罩的薄膜面及玻璃面因接触光罩盒顶面或底面而造成破损。 |
申请公布号 |
CN203277341U |
申请公布日期 |
2013.11.06 |
申请号 |
CN201320263054.8 |
申请日期 |
2013.05.15 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
高海林;张学良 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01)I;B65D85/38(2006.01)I;B65D25/10(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
李仪萍 |
主权项 |
一种光罩盒,其包括一盒底以及与该盒底配合的盒盖,其特征在于,所述盒底包括底部以及自该底部的侧边弯折延伸的第一侧墙;所述盒底的底部设有至少四个第一固定器;所述第一固定器包括支撑台阶以及自该支撑台阶向上延伸的引导部;所述引导部包括底面、自该底面一侧弯折延伸的引导面以及连接所述引导面和底面的侧面;所述侧面与所述盒底的第一侧墙接触;所述至少四个第一固定器的引导面与支撑台阶围成用于收容光罩的收容腔;所述盒盖包括顶部以及自该顶部的侧边弯折延伸的第二侧墙;所述盒盖的顶部设有至少四个第二固定器,所述第二固定器与所述第一固定器结构相同。 |
地址 |
100176 北京市大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |