磁加载晶片研磨装置

摘要

一种磁加载晶片研磨装置，壳体内充满缓冲液，加载盘位于壳体内腔下部，上研磨盘位于加载盘的下方，加载盘下端面安装有加载磁钢，上研磨盘上端面安装有受载磁钢，加载磁钢和受载磁钢均为永久磁铁，且加载磁钢和受载磁钢的相对面是相同极性，下研磨盘的底面安装晶片，晶片的下方为下研磨盘，加载杆上端伸出外壳，加载杆下端固定安装在加载盘上。本实用新型降低研磨振动，减少晶片研磨时的碎片率，并且提高晶片的表面质量，提升加工效率。

主权项

一种磁加载晶片研磨装置，其特征在于：包括晶片夹持装置和下研磨盘，所述晶片夹持装置内安装有加载杆、壳体、缓冲液、加载盘、加载磁钢、上研磨盘和受载磁钢，所述壳体内充满缓冲液，所述加载盘位于壳体内腔下部，上研磨盘位于加载盘的下方，加载盘下端面安装有加载磁钢，上研磨盘上端面安装有受载磁钢，加载磁钢和受载磁钢均为永久磁铁，且加载磁钢和受载磁钢的相对面是相同极性，所述下研磨盘的底面安装所述晶片，所述晶片的下方为下研磨盘，所述加载杆上端伸出所述外壳，所述加载杆下端固定安装在所述加载盘上。