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发明名称 PARTICLE-OPTICAL DEVICE AND DETECTION MEANS
摘要
申请公布号 EP1540692(B1) 申请公布日期 2013.11.06
申请号 EP20030759297 申请日期 2003.09.18
申请人 FEI COMPANY 发明人 SCHOLTZ, JACOB, JOHANNES;KNOWLES, WILLIAM, RALPH;THIEL, BRADLEY, LAMAR;VAN VEEN, GERARDUS;SCHROEMGES, RENE, PETER, MARIE
分类号 H01J37/244;G01N23/00;G01Q30/20;G01Q70/10;H01J;H01J37/00;H01J37/26;H01J37/28 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
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