发明名称
摘要
申请公布号 JP5335720(B2) 申请公布日期 2013.11.06
申请号 JP20100064383 申请日期 2010.03.19
申请人 发明人
分类号 B32B9/00;B32B27/24;C23C14/56;H01L51/50;H05B33/04;H05B33/10 主分类号 B32B9/00
代理机构 代理人
主权项
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