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发明名称
摘要
申请公布号
JP5335720(B2)
申请公布日期
2013.11.06
申请号
JP20100064383
申请日期
2010.03.19
申请人
发明人
分类号
B32B9/00;B32B27/24;C23C14/56;H01L51/50;H05B33/04;H05B33/10
主分类号
B32B9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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