| 发明名称 |
正型光阻清洗剂组合物 |
| 摘要 |
本发明提供了一种正型光阻清洗剂组合物，它包括：a)1-20重量份的N，N-二乙基羟胺；b)1-70重量份的二甘醇单烷基醚；c)1-5重量份的[式1]所示的化合物；d)1-5重量份的[式2]所示的化合物；<img file="DSA00000750266500011.GIF" wi="534" he="199" />[式1]，上述化学式中，R1、R2分别独立或同时表示直链或支链上的C1-C5的烷基、烯丙基、C1-C5的烷基氨基、C1-C5的羟烷基、或C1-C5的烷基苯基，<img file="DSA00000750266500012.GIF" wi="477" he="413" />[式2]。本发明正型光阻清洗剂组合物可以使金属布线的腐蚀达到最小化，且光阻的剥离性能优秀，因此具有很强的实用性。 |
| 申请公布号 |
CN103383530A |
申请公布日期 |
2013.11.06 |
| 申请号 |
CN201210247560.8 |
申请日期 |
2012.07.18 |
| 申请人 |
张峰 |
发明人 |
张峰 |
| 分类号 |
G03F7/42(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种正型光阻清洗剂组合物，其特征在于包括：a)1-20重量份的N，N-二乙基羟胺；b)1-70重量份的二甘醇单烷基醚；c)1-5重量份的[式1]所示的化合物；d)1-5重量份的[式2]所示的化合物；<img file="FSA00000750266600011.GIF" wi="524" he="199" />[式1]，上述化学式中，R1、R2分别独立或同时表示直链或支链上的C1-C5的烷基、烯丙基、C1-C5的烷基氨基、C1-C5的羟烷基、或C1-C5的烷基苯基，<img file="FSA00000750266600012.GIF" wi="477" he="413" />[式2]。 |
| 地址 |
315171 浙江省宁波市鄞州区集士港镇商贸路创业园区306室 |
