一种浮动盘悬浮抛光装置

摘要

一种浮动盘悬浮抛光装置，包括抛光基盘和浮动盘，所述抛光基盘和浮动盘相对面沿圆周方向设有楔形槽和用以放置待加工工件的加工工位，所述楔形槽中充满抛光液，所述楔形槽和加工工位间隔设置，所述抛光装置还包括弹簧、力传感器、升降台和主驱动器，所述抛光基盘与主驱动器连接且可绕主轴转动，所述抛光基盘位于所述浮动盘上，所述浮动盘与弹簧的上端连接，所述弹簧的下端与所述力传感器连接，所述力传感器与所述升降台固定连接。本实用新型提供一种精确加压、研磨平稳、表面损伤小质量高的浮动盘悬浮抛光装置。

主权项

一种浮动盘悬浮抛光装置，包括抛光基盘和浮动盘，所述抛光基盘和浮动盘相对面沿圆周方向设有楔形槽和用以放置待加工工件的加工工位，所述楔形槽中充满抛光液，所述楔形槽和加工工位间隔设置，其特征在于：所述抛光装置还包括弹簧、力传感器、升降台和主驱动器，所述抛光基盘与主驱动器连接且可绕主轴转动，所述抛光基盘位于所述浮动盘上，所述浮动盘与弹簧的上端连接，所述弹簧的下端与所述力传感器连接，所述力传感器与所述升降台固定连接。