发明名称 承载机构
摘要 一种承载机构,其包括:一中空盒体,其具有一中空腔,该中空盒体上设有与该中空腔相通之复数个吸嘴及一抽气口;及复数个吸头,其与该吸嘴紧密配合。所述承载机构可藉由负压将镜片吸附于该吸嘴阵列上,使得镜片之运送更为方便,且于镀膜制程中所获得之镀膜厚度更为均匀。
申请公布号 TWI413701 申请公布日期 2013.11.01
申请号 TW094138820 申请日期 2005.11.04
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 新北市土城区自由街2号 发明人 张耕铭
分类号 C23C14/22 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
地址 新北市土城区自由街2号
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