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发明名称
承载机构
摘要
一种承载机构,其包括:一中空盒体,其具有一中空腔,该中空盒体上设有与该中空腔相通之复数个吸嘴及一抽气口;及复数个吸头,其与该吸嘴紧密配合。所述承载机构可藉由负压将镜片吸附于该吸嘴阵列上,使得镜片之运送更为方便,且于镀膜制程中所获得之镀膜厚度更为均匀。
申请公布号
TWI413701
申请公布日期
2013.11.01
申请号
TW094138820
申请日期
2005.11.04
申请人
鸿海精密工业股份有限公司 新北市土城区自由街2号
发明人
张耕铭
分类号
C23C14/22
主分类号
C23C14/22
代理机构
代理人
主权项
地址
新北市土城区自由街2号
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