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发明名称
半导体装置及其终端区结构
摘要
一种半导体装置之终端区结构,包含一半导体层;复数沟槽,形成于该半导体层之表面;一连结沟槽,形成于该半导体层之表面,用于连接该复数沟槽中相邻之二沟槽;一第一绝缘层,形成于该复数沟槽、该连结沟槽、及该半导体层之表面;导电材料,形成于该复数沟槽及该连结沟槽内;一第二绝缘层,覆盖该第一绝缘层之部分表面及该导电材料之部分表面;及一金属层,覆盖该第二绝缘层之部分表面。
申请公布号
TWM464821
申请公布日期
2013.11.01
申请号
TW102207131
申请日期
2013.04.19
申请人
实用半导体有限公司
发明人
林文斌
分类号
H01L29/872
主分类号
H01L29/872
代理机构
代理人
赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项
地址
桃园县芦竹乡南崁路2段9号4楼之6 TW
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