发明名称 |
利用线锯之工件的切断方法及线锯 |
摘要 |
本发明系一种线锯,系针对藉由将切断用钢线卷绕于复数个附凹沟滚筒的周边上而形成钢线列,上述切断用钢线于轴方向被往复驱动,且一边供给浆液至该切断用钢线上,一边对于上述钢线列切入进给工件,藉此将该工件同时于轴方向并列的复数处切断之形态的线锯,其特征为:该线锯系控制成:上述工件切断后,在从上述钢线列拔出该工件时,一边以2m/min以下的速度使钢线行进,一边拔出工件。;藉此提供一种线锯,利用简单的构成,便不会对于藉由线锯的钢线列切断的工件的切断面造成不良影响,而从上述钢线列拔出完成切断的工件。 |
申请公布号 |
TWI413558 |
申请公布日期 |
2013.11.01 |
申请号 |
TW097145389 |
申请日期 |
2008.11.24 |
申请人 |
信越半导体股份有限公司 日本 |
发明人 |
北川幸司;加藤忠弘;糸井征夫;须藤富一 |
分类号 |
B23D61/18;B24B27/06;B28D5/04;H01L21/304 |
主分类号 |
B23D61/18 |
代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
主权项 |
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地址 |
日本 |