一种用于等离子体处理装置的聚焦环

摘要

一种应用于等离子体处理装置的聚焦环，聚焦环设置于载片台上，包围位于载片台上的基板，其中，聚焦环的上表面上有若干个突起，突起在竖直方向上的高度至少高于基板的下表面。本创作提供的聚焦环能够有效防止基板滑出载置台，并且造价低功耗小，使用方便有效，与机台的相容性好。