发明名称 Procédé pour la pulvérisation cathodique à cathodes préchauffées
摘要
申请公布号 FR823176(A) 申请公布日期 1938.01.15
申请号 FRD823176 申请日期 1937.06.16
申请人 发明人 BERGHAUS BERNHARD
分类号 C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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