| 摘要 |
Substrat umfassend einen Verbund – mit einer ersten piezoelektrischen Schicht (PS1) mit einem ersten thermischen Ausdehnungsverhalten, – mit einer Verspannungsschicht (VS) mit einem zweiten thermischen Ausdehnungsverhalten, das von dem der ersten piezoelektrischen Schicht verschieden und geeignet ist, im Verbund der beiden Schichten den Temperaturgang für eine Oberflächenwelle zu reduzieren, und – mit einer Kompensationsschicht (KS, PS2) mit einem thermischen Ausdehnungsverhalten, das dem der ersten piezoelektrischen Schicht ähnlich oder gleich ist, und wobei die Verspannungsschicht zwischen der ersten piezoelektrischen Schicht und der Kompensationsschicht angeordnet ist, – wobei im Verbund zwischen der Verspannungsschicht (VS) und der Kompensationsschicht (KS, PS2) eine Haft- oder Opferschicht (OS) angeordnet ist, die eine zerstörungsfreie Ablösung der Kompensationsschicht unter Auflösung oder Zerstörung der Haft- oder Opferschicht erlaubt.
|
